离子研磨仪IM4000 II

产品特点

1、高效率的截面研磨
IM4000 II 配备截面研磨能力达到500µm/h*1以上的高效率离子枪。因此，即使是硬质材料，也可以高效地制备出截面样品。

*1在加速电压6kV下，将Si片从遮挡板边缘突出100µm并加工1小时的最大深度

样品：Si片（2mm厚）
加速电压：6.0 kV
摆动角度：±30°
研磨时间：1小时

截面研磨时如果摆动的角度发生变化，加工的宽度和深度也会发生变化。下图为Si片在摆动角度为±15°下进行截面研磨后的结果。除摆动角度以外，其他条件与上述加工条件一致。通过与上面结果进行对比后，可发现加工的深度变深。对于观察目标位于深处的样品来说，能够对样品进行更快速的截面研磨。

样品：Si片（2 mm厚）
加速电压：6.0 kV
摆动角度：±15°
研磨时间：1小时

2、复合型研磨仪
IM4000II同时支持截面研磨/平面研磨

截面研磨：即使是由不同硬度以及研磨速度材质所构成的复合材料，也可以通过IM4000Ⅱ制备出平滑的研磨面。可装载最大20mm(W)×12mm(D)×7mm(H)的样品

平面研磨： 直径约为5mm范围内的均匀加工，应用领域广泛，最大可装载直径50mm×高度25mm的样品，可选择旋转和摆动（±60度，±90度的摆动）2种加工方法


3. 无损加工
•  具有间歇式加工特点，能够抑制样品温度的持续上升，减少热损伤

•  可选择低温制冷功能，温度可调，可避免样品的热变形和损伤

4. 可联用功能

a.  可选择低温制冷功能，温度可调，可避免样品的热变形和损伤将样品从样品台上取下即可进行SEM观察（包括样品交换仓和大开仓）

b.  真空转移功能：IM4000II加工后的样品在不接触空气的状态下可直接转移到SEM和AFM中观察（真空转移也可以与低温制冷功能结合使用）

锂离子电池负极（充电后，对空气敏感），对比隔绝空气（左）和在空气中暴露15min（右），可以看到电极形貌明显的变化

5. 采用触摸屏操作
采用触摸屏操作，可设定加工程序自动加工