离子溅射仪MC1000

综述

MC1000离子溅射仪是一种用于扫描电子显微镜(SEM)的样品制备仪器，可用于沉积薄金属涂层，如铂(Pt)、金(Au)、铂-钯合金(Pt-Pd)或金-钯合金(Au-Pd)，以使样品表面导电，避免在SEM中观察时的电荷积聚。MC1000通过使用LCD触摸屏控制，导电薄膜沉积的厚度可以从几纳米变化到几十纳米。另外，MC1000通过电磁管电极运行，这意味着磁体被结合在靶(负电极)中，以产生垂直于靶表面电场的磁场，这最大限度地减少了粒子因快速移动(包括反射离子)照射而造成的样品损坏，并允许高粒度(较小直径的粒子)涂层。

产品特点
•  采用LCD触摸屏，可以一键式简便地设定加工条件

•  最多可存储并调用5个加工条件

•  电磁管电极可减少样品损坏并减小导电薄膜平均颗粒尺寸

•  可处理较厚或较大的样品* （最大直径150mm，最大高度20mm）