200 kV相差校正TEM/STEM，平衡了空间分辨率和倾斜、分析性能
通过单极片实现0.078 nm的STEM空间分辨率和高样品倾斜度、高立体角EDX。
透射电子显微镜除了延续了日立公司配备的球面像差校正器的功能、自动校正功能，像差校正后的SEM图像和对称Dual SDD技术等特点。还融汇了透射电子显微镜HF系列中所积累的技术。
对于包括高端用户在内的广泛用户，我们提供亚Å级空间分辨率和高分析性能以及更多样化的观察和分析方法。
※附带第二显示器（可选），显示屏为嵌入式合成界面。
特点：
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标配日立生产的照射系统球差校正器（附自动校正功能）
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搭载具有高辉度、高稳定性的冷场FE电子枪
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镜体和电源等的高稳定性使机体的性能大幅度提升
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观察像差校正SEM/STEM图像的同时观察原子分辨率SE图像
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采用侧面放入样品的新型样品台结构以及样品杆
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支持高立体角EDX*的对称配置（对称Dual SDD*）
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采用全新构造的机体外壳盖
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配备日立生产的高性能样品杆*
高辉度冷场FE电子枪×高稳定性×日立制球面像差校正器
以长年积累起来的高辉度冷场FE电子源技术为基础，进行优化，进一步实现电子枪的高度稳定性。
此外，还更新了镜体，电源系统和样品台，以支持观察亚Å图像，并提升了机械和电气稳定性，然后与日立公司的球差校正器结合使用。
不仅可以稳定地获得更高亮度更精密的探头，而且自动像差校正功能可以实现快速校正，从而易于发挥设备的固有性能。使像差校正可以更实用。
Si（211）单晶体HAADF-STEM图像（左）和图像强度曲线分布（右下）、FFT功率谱（右上）
支持高立体角EDX*的对称Dual SDD*
支持双重配置100 mm2 SDD检测器，以实现更高的灵敏度和处理能力进行EDX元素分析。
由于第二检测器位于第一检测器的对面位置，因此，几乎不会因为样品倾斜，导致X射线中的信号检测量发生变化。所以，即使是结晶性样品，也不用顾忌信号量，可完全按照样品的方向与位置进行元素分析。
此外，对于电子束敏感样品、低X光辐射量的样品，除了原子列映射，在低倍、广视野的高精细映射等领域也极为有效。
GaAs（110）的原子柱EDX映射
像差校正SEM图像/STEM图像 同时观察
配有标配二次电子检测器，可同时观察像差校正SEM/STEM图像。通过同时观察样品的表面和内部结构，可以掌握样品的三维构造。
在像差校正SEM图像中，除了可以通过校正球差来提高分辨率之外，还可以获取更真实地样品表面图像。
Au/CeO2催化剂的SEM/ADF-/BF-STEM图像（上段）和Au粒子的高分辨率图像（下段）
规格：
主要规格
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项目
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内容
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电子源
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W（310）冷阴极场发射型
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加速电压
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200 kV、60 kV*1
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图像分辨率
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STEM
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0.078 nm（ADF-STEM图像）
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TEM
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0.102 nm（晶格像）
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倍率
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STEM
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×20～×8,000,000
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TEM
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×100～×1,500,000
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样品微动
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样品台
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偏心测角仪（Eucentric Goniometer）5轴样品台
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样品尺寸
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3 mm Φ
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移动范围
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X, Y＝±1.0 mm，Z=±0.4 mm
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样品倾斜
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α＝±25°、β＝±35°（日立2轴倾斜样品杆*1）
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像差校正器
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配有日立照射系统球面像差校正器（标配）
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图像显示
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PC
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Windows® 7 *2
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显示器
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27英寸宽屏液晶显示器（机体控制显示器、第二显示器*1）
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摄像头
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标配伸缩式摄像头
屏幕摄像头*1（用于荧光板观察）
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机体尺寸/重量
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项目
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宽度×进深×高度（mm）
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重量（kg）
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镜体（含电子枪）
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1,060×1,742×2,970
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1,940
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机体外壳盖
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1,678×1,970×3,157
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429
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操作台
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1,400×819×740
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132
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扩展操作台*1
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580×819×740
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53
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FE槽
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1,041×840×1,317
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482
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V0槽
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398×630×1,046
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164
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控制电源
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1,400×693×816
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173
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像差校正器电源
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606×529×1,096
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81
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排气系统电源
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913×663×1,790
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378
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转向系统电源
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913×663×1,790
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394
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配重块
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280×130×130
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23
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Gatan控制器*1*3
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576×648×1,173
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150
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冷却水控制装置
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470×540×350
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25
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冷却水循环装置*1*3
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970×970×1,064
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95
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干式泵*1
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252×400×336
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23
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空压机*1
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275×560×576
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25
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安装条件
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项目
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内容
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室温
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15～23℃（温度变化：0.2℃/h以内）
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湿度
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40～60% RH
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电源
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机体
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单相AC200～240 V ±10%、50/60 Hz、10 kVA
断路器容量 50 A
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冷却水循环装置*1*3
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三相AC200 V ±5%、50/60 Hz、30 A
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接地
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D种接地（100 Ω以下）
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冷却水
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水量
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5.1～5.3 L/min 1系统、2.0～2.2 L/min 1系统
（水压0.25 MPa）
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水温
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16～18℃（变动：±0.1℃以内）
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气体
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SF6
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99.9%以上、180 k～200 kPa
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干氮
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99.9%以上、0～100 kPa
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压缩空气
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600 k～800 kPa
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购买之前，请设置预定安装处测量振动、磁场和噪声，如果超过容许值，请务必另行咨询。
关于容许值，请另行咨询。
*1：选项。*2：Windows是在美国以及其他国家的注册的美国Microsoft Corp.商标。*3：规格、尺寸均根据厂家、型号和配置的不同而会有所不同。
布局示例
※使用上述配置(包含维护工具），整体设备总重量约为5,000kg。
※请检查地面强度（kg/m2）＞3×设备总重量（kg）/占地面积（m2）。
