当前位置：网站首页|解决方案|SU9000+EELS对半导体器件的元素分布进行分析
电子能量损失谱（EELS）可用于材料中轻元素分析，它被广泛使用在TEM和STEM中。SU9000匹配EELS系统对于轻元素材料，同样可以提供高分辨率的分析结果。 我们预计该系统在将来会用作分析先进材料和半导体器件。